国产1200DPI热气泡式喷墨打印头产品开发完成

国产1200DPI热气泡式喷墨打印头产品开发完成

据麦姆斯咨询消息，苏州园区某国内知名企业已完成了商业化热气泡式喷墨打印头产品开发，其打印分辨率达1200dpi，该产品将率先投入市场。苏州微纳制造中试线作为其芯片加工平台，结合客户热气泡式喷墨打印头设计及相关特殊需求，凭借独具优势的工艺模块和相关核心技术，成功帮助客户实现了科研级和工业级热气泡式喷墨打印头的工艺开发，为客户提供可批量生产的喷墨头产品。

MEMS热气泡式喷墨打印头涉及到高性能电阻薄膜制备，异型孔DRIE刻蚀，高精度高均匀性喷射结构制备等关键工艺技术，其中包含微结构加工工艺、释放工艺、牺牲层材料工艺、结构层材料工艺等多种工艺模块。经过不懈的努力，苏州微纳制造中试线完成了高均匀性电阻薄膜沉积、低温低应力PECVD薄膜沉积、牺牲层释放、喷孔结构层制备、有机材料层刻蚀及释放、高深宽比异型孔深硅刻蚀等多种新工艺和特殊工艺的开发，以及可用于喷墨头产品的工艺集成技术的开发。